一般情况下，晶片制造沸石转轮的再生温度为180-200℃，在此温度下，高沸点的二甘醇胺等物质不能有效地从沸石转轮内脱附，然后逐步积累在滚筒内。

通过对沸石转轮系统高沸点物质集合情况的研讨，发现在沸石转轮系统运行1个月后，滚筒内的确存在较大数量的有机物集合，其集合量约为6wt%。经有效高温脱附后，有机物质的积累量可削减40%~60%左右。结果表明，高温脱附能较好地去除沸石转轮中高沸点有机物。

假如高温脱附温度挑选过高，则会对沸石分子筛的骨架结构构成一定影响，然后影响分子筛的使用寿命。主张选用300℃左右高温脱附，且相应的沸石转轮内部配件均需选用可耐300℃高温的密封配件。

晶片制造工业中常用的有机资料一般都有很好的水溶性，可以用水洗再生的办法去除沸石转轮中集合的高沸物。
水洗再生能有效地提高沸石转轮系统的管理功率，对工厂而言，水洗再生次数达到4~6次/年时，管理功率可达95%~99%。所以，恰当增加定期水洗再生频率，可以有效地防止沸石转轮内高沸点物质的集合，坚持高管理功率。
分子筛在陶瓷纤维纸外表涂布，通常是用无机粘结剂来制造沸石转轮，因而当水洗时，不只沸石分子筛不会出现龟裂变形，而且也不会出现因分子筛掉落而构成的功能下降，使用寿命缩短等问题。

但水洗时要注意水质情况，假如水中含有很多的钙、镁等离子，就会在沸石内部构成碳酸盐，阻塞了沸石转轮中的蜂窝状孔道；水中微量重金属物质、氯等也会对沸石构成毒化。

需要指出的是，并非所有沸石转轮资料都耐水洗，企业在水洗再生前，应向沸石转轮设备制造商做好相关咨询工作。

各企业在停机检修理期间，选用高压空气吹扫沸石转轮。但由于VOCs有机物通常吸附在分子筛孔洞内，不能被有效地去除，需要选用高压空气吹扫来清除沸石转轮外表附着的尘埃，并应与上述处理办法配合使用。